* 掃描式電子顯微鏡(SEM)

* 電子曝寫機(E-Beam Writer)

* 光罩對準曝光機(Mask Aligner)

* 光阻塗佈機(Spin Coater)

* 離子覆膜機(Ion Coater)

* 第一台熱阻式真空蒸鍍機(Thermal Evaporation Coater)

* 第二台熱阻式真空蒸鍍機(Thermal Evaporation Coater)

* 原子力顯微鏡(AFM)

* 快速高溫退火爐(RTA)

* 打金線機(Gold Wire Bonder)

* 恒溫烤箱(Oven)

* 超音波洗淨機(Ultrasonic Cleaner)

* 電熱板(Hot Plate)

* 排氣櫃(Ventation Hood)